空氣過(guò)濾器分級誕生：隨著(zhù)微電子工業(yè)的發(fā)展,對空氣過(guò)濾器特別是高效過(guò)濾器的要求越來(lái)越嚴,德國標準DIN24183率先提出"最容易穿透粒徑"(Most Penetrating Particle Size,簡(jiǎn)稱(chēng)MPPS)法,并采用最容易穿透粒徑來(lái)檢測空氣過(guò)濾器的效率.其實(shí)不同的濾料和不同的濾速最容易穿透粒徑是不同的,一般在0.11um-0.25um范圍內.然后以此粒徑測試其效率或用于掃描實(shí)驗。
MPPS是目前最嚴格的試驗標準,具體測試一般采用DOP方法. DOP(鄰苯二甲二辛酯)法:實(shí)驗塵源為0.3um單分散相DOP液滴,測量粉塵儀器為光度計,以氣樣的濁度差別來(lái)判定過(guò)濾器對DOP顆粒的過(guò)濾效率.目前逐步采用大流量激光粒子計數器或凝結核計數器對過(guò)濾器整個(gè)出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗。
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